실리콘 잉곳 제조용 핫존에 사용되는 그라파이트 히터 입니다. 통상 99.9% 이상의 고순도 그라파이트로 제조됩니다.
반도체 생산에 필수 재료인 실리콘 웨이퍼를 생산하기 위한 실리콘 잉곳 제조용 핫존에 사용되는 그라파이트 히터입니다.
핫존의 형상에 따라 주문자 생산 방식에 의하여 커스텀 칫수로 제작되어지며, 99.9%이상의 고순도 크라파이트 원료를 사용하여 제작됩니다.
UHV 히터 (SiC 코팅)
열교환기